Aktuelle Forschungsthemen
- Evaluation von kostengünstiger Heterointegration mit niederschwelligem Zugang
- Vernetzung im Thema Fertigung
- Community Workshops
- Austausch mit dem Industriebeirat, um Relevanz abzusichern
- Härtungsmechanismen gegen optische Angriffe
- Lito-basierte Identifikationsmerkmale: M1 + Kunststoff
Ansprechpartner: Norbert Herfurth, Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (IHP).